di-soric電容式傳感器的主要特點(diǎn)有哪些？

di-soric電容式傳感器因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量極小，因而可測(cè)極低的壓力、力和很小的加速度犁嗅、位移等，可以做得很靈敏晤碘，分辨力高褂微，能感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質(zhì)損耗小园爷，采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)并接成電橋式時(shí)產(chǎn)生的零殘極小宠蚂，因此允許電路進(jìn)行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度童社。

di-soric電容式傳感器主要有如下這些特點(diǎn)：

1.溫度穩(wěn)定性好

di-soric電容式傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān)求厕，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小扰楼，影響穩(wěn)定性甚微呀癣。而電阻傳感器有銅損，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂弦赖。

2.結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單

di-soric電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單项栏，易于制造和保證高的精度，可以做得非常小巧蹬竖，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測(cè)量沼沈；能工作在高溫，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中案腺，可以承受很大的溫度變化庆冕，承受高壓力，高沖擊劈榨，過載等；能測(cè)量超高溫和低壓差晦嵌，也能對(duì)帶磁工作進(jìn)行測(cè)量同辣。

3.動(dòng)態(tài)響應(yīng)好

di-soric電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小拷姿，需要的作用能量極小，又由于它的可動(dòng)部分可以做得很小很薄旱函，即質(zhì)量很輕响巢，因此其固有頻率很高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短棒妨，能在幾兆赫茲的頻率下工作踪古，特別適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電券腔，因此系統(tǒng)工作頻率高伏穆。它可用于測(cè)量高速變化的參數(shù)。

4.可以非接觸測(cè)量且靈敏度高

可非接觸測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率纷纫、小型滾珠軸承的徑向間隙等枕扫。當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí)，di-soric電容式傳感器具有平均效應(yīng)辱魁，可以減小工件表面粗糙度等對(duì)測(cè)量的影響烟瞧。